[实用新型]一种新型双副室单晶炉有效
| 申请号： | 202020037070.5 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN211734527U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 卢阳华;马向东 | 申请（专利权）人： | 深圳晶鑫智造科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种新型双副室单晶炉，包括一机架、设置在机架上的一主炉室、一第一驱动机构与一第二驱动机构、以及与第一驱动机构、第二驱动机构输出端对应连接的第一副炉室与第二副炉室。本实用新型的是设计一种全新的双副室单晶炉，一个上部配置高精度提拉头的副室用于拉硅单晶棒，另一个上部配置低成本提升机的副室用于二次加料；从而节约停炉等待时间，大幅提高单炉的产出量和单晶炉主炉室的使用效率，减少电能和Ar气消耗，降低单晶硅生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 双副室单晶炉 | ||
【主权项】：
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