[实用新型]一种切割效率高的半导体晶圆片切割装置有效
申请号: | 202020003338.3 | 申请日: | 2020-01-02 |
公开(公告)号: | CN212072481U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 刘卫科 | 申请(专利权)人: | 刘卫科 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 冯铁惠 |
地址: | 461000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种切割效率高的半导体晶圆片切割装置,涉及到半导体晶圆片切割技术领域。包括支撑台,所述支撑台的顶端设置有开口,所述开口的底端设置有出料板,所述开口的一侧设置有支撑板一和支撑板二,所述支撑板一和支撑板二的表面设置有螺旋杆,所述开口的另一侧设置有支撑板三和支撑板四,所述支撑板三和支撑板四的表面设置有光滑杆,所述光滑杆的表面设置有移动挡板。有益效果:利用电机带动螺旋棒旋转,并且通过移动挡板对晶圆棒的长度进行固定,然后再对晶圆棒进行切割使晶圆片的切割更加精确,使晶圆片的切割厚度更加精准,提高了晶圆片的生产效率,减少了晶圆片的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 效率 半导体 晶圆片 装置 | ||
【主权项】:
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