[发明专利]一种基于棱镜的横向剪切干涉光谱成像仪及成像方法在审
申请号: | 202011643062.6 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112781727A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 王鹏冲;冯玉涛;李思远;张朋昌;陈莎莎;杨莹;胡炳樑;卫翠玉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/45;G01J3/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 汪海艳 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种基于棱镜的横向剪切干涉光谱成像仪及成像方法,解决现有干涉光谱成像技术中移动部件扫描不稳定的问题,应用于干涉波前理论重建、光学检测、光学计量、像质评价以及精密测试等领域。包括沿光路依次设置的前置望远镜准直系统,剪切干涉仪、傅里叶变换成像物镜以及光电探测器;前置望远镜准直系统位于光路最前端,光电探测器位于傅里叶变换成像物镜的像面上;远场目标依次经过前置望远镜系统、剪切干涉仪、傅里叶变换成像物镜后在光电探测器靶面上形成干涉条纹;光电探测器记录干涉条纹后经计算机处理形成光谱图像。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 棱镜 横向 剪切 干涉 光谱 成像 方法 | ||
【主权项】:
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