[发明专利]一种氧化镓晶体的亚表面损伤快速检测方法在审
| 申请号： | 202011641927.5 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112665943A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 穆文祥;贾志泰;陶绪堂 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01N21/95 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 张宏松 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化镓晶体的亚表面损伤快速检测方法，该方法在氧化镓晶体待检测表面的正对面上沿着解理面方向在晶圆切割机上划出一道剥离沟槽；将刀片置于剥离沟槽处，刀片垂直于剥离沟槽施加力，缓慢分离晶片，通过解理，获得氧化镓晶片截面；将氧化镓晶片截面放入酸溶液中进行腐蚀，腐蚀后超声清洗、烘干，得到待检测氧化镓晶片截面；采用显微镜及自带的图像信息采集系统对机械剥离得到的晶片截面的近加工表面处进行观察分析。本发明的方法操作简单，容易实现经加工后氧化镓晶片的亚表面损伤检测，制样过程简单，检测方法可行。避免了传统截面显微法研磨抛光过程造成的二次损伤，检测结果准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 晶体 表面 损伤 快速 检测 方法 | ||
【主权项】：
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