[发明专利]同时生产电子级硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的系统及方法有效

专利信息
申请号: 202011624573.3 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112624123B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 陶刚义 申请(专利权)人: 内蒙古兴洋科技股份有限公司
主分类号: C01B33/04 分类号: C01B33/04;C01B33/107
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 崔自京
地址: 010400 内蒙古自治区鄂*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明公开了同时生产电子级硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的系统及方法,属于硅烷生产技术领域。系统包括物料合成设备、粗分离设备、硅烷分离提纯设备、一氯硅烷分离提纯设备和二氯硅烷分离提纯设备;以氢气、硅粉、四氯化硅为原料,通过催化合成、催化歧化、多步精馏生产获得高纯度的硅烷、一氯硅烷及二氯硅烷;本发明所用原料便宜,副产物可循环利用,生产成本低,适于推广应用。
搜索关键词: 同时 生产 电子 硅烷 系统 方法
【主权项】:
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