[发明专利]一种酸洗槽去除气泡装置在审
| 申请号： | 202011611009.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112717478A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张展;邓信甫;徐铭;陈佳炜 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 沈栋栋 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酸洗槽去除气泡装置，涉及到去气泡技术领域，包括帮浦、酸液过滤器、分流管路、导流结构和破气泡结构，其中，酸液过滤器位于帮浦的上侧，且帮浦连接酸液过滤器，酸液过滤器的出液口连接分流管路；分流管路包括第一管路和第二管路，第一管路的一端与出液口连接，第一管路的另一端与第二管路的一端连接，其中，第二管路的一端内壁上设有一液体回流面和设于液体回流面下侧的破气泡结构，第二管路的一端内壁上还设有一导流结构，导流结构与破气泡结构相正对。其利用简易的分流管路与帮浦的推动力作用，即可产生将液泡分离的作用，达成在输送各种溶剂或是混合溶液至晶圆湿法工艺区移除气泡的具体作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 酸洗 去除 气泡 装置 | ||
【主权项】：
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