[发明专利]一种基于亚波长光栅的LNOI模斑转换器和制备方法有效

专利信息
申请号: 202011603932.7 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112782805B 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 周奉杰;钱广;顾晓文;唐杰;孔月婵 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第五十五研究所
主分类号: G02B6/124 分类号: G02B6/124;G02B6/14;G02B6/136;G02B6/30
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 施昊
地址: 210016 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于亚波长光栅的LNOI模斑转换器,包括:顶层锥形波导、底层锥形波导、锥形亚波长光栅、SiO2倒锥形厚脊波导包层、SiN亚波长光栅薄层和光纤固定槽;制备方法涉及的工艺包括:顶层锥形波导和底层锥形波导制备、锥形亚波长光栅制备、SiO2倒锥形厚脊波导制备、SiN亚波长光栅制备、光纤固定槽制备。本发明采用双层锥形波导结合锥形亚波长光栅、SiN亚波长光栅和SiO2倒锥形厚脊波导的结构,通过调节波导芯层以及包层的有效折射率,实现LNOI光波导中小尺寸光模场的放大功能,进而提高LNOI光波导与单模光纤的耦合效率。
搜索关键词: 一种 基于 波长 光栅 lnoi 转换器 制备 方法
【主权项】:
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