[发明专利]一种浸液供给装置在审
| 申请号： | 202011563622.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112631082A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李元;吴敏;池优阳;陈文昱;付婧媛 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亚冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种浸液供给装置。本发明包括环绕末端物镜的环绕面；环绕面上具有主注液口，顺次经过主进液接口、主供液流路和主注液口向浸没流场提供浸液；主供液流路包括顺次连通的引流流路和出流流路，引流流路连通主进液接口连通，出流流路连通主注液口；引流流路位于出流流路的下方。本发明经主注液口向浸没流场提供浸液，经主供液流路向主注液口提供浸液，设置主供液流路包括引流流路和出流流路，使浸液在出流路的宽度方向上具有更均匀的流量分布；配合在主供液流路中设置孔板以增强流量的均匀效果；有利于浸没流场的稳定流动，避免浸没流场中形成紊流和漩涡，保证浸没流场的光学性质稳定，有利于保证曝光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浸液 供给 装置 | ||
【主权项】：
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