[发明专利]多轴定位装置在审
| 申请号： | 202011524490.7 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112659074A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 吴火亮;江旭初;袁嘉欣;陈啸虎 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/14 | 分类号： | B25H1/14 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清 |
| 地址： | 200135 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多轴定位装置。本发明中，多轴定位装置包括：旋转台组件；支撑底座，支撑底座位于旋转台组件的下方；多个垂向驱动装置，沿旋转台组件的周向依次间隔设置在支撑底座上；且各垂向驱动装置用于驱动旋转台组件垂向运动；至少一个浮动重力补偿装置，各浮动重力补偿装置设置在旋转台组件和支撑底座之间，并用于对旋转台组件进行重力补偿；导向装置，导向装置具有挠性件，且设置在旋转台组件和支撑底座之间，且与旋转台组件和支撑底座相连。与现有技术相比，使得多轴定位装置结构简单、尺寸链少，且便于装配。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 装置 | ||
【主权项】：
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