[发明专利]处理体收纳装置及包含处理体收纳装置的成膜装置有效
| 申请号： | 202011507445.0 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113005423B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 菅原洋纪 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 史雁鸣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及处理体收纳装置及包含该装置的成膜装置，其课题在于，能够以更稳定的姿势收纳更多的掩膜，通过减小配置在内部的盒的更换频率，抑制更换时的颗粒的影响。本发明为处理体收纳装置，其特征在于，包括：在铅垂方向上延伸的旋转轴；以及能够收纳处理体且配置在所述旋转轴的周围的多个处理体收纳容器，所述多个处理体收纳容器配置在与所述铅垂方向垂直的面内，与所述旋转轴一起旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 收纳 装置 包含 | ||
【主权项】：
暂无信息
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