[发明专利]一种制备电子级锗烷联产电子级四氟锗烷的方法及装置在审

专利信息
申请号: 202011504902.0 申请日: 2020-12-18
公开(公告)号: CN112408327A 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 蔡江;曾宪友 申请(专利权)人: 天津中科拓新科技有限公司
主分类号: C01B6/06 分类号: C01B6/06;C01G17/04
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 王丽
地址: 300354 天津市津南区*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种制备电子级锗烷联产电子级四氟锗烷的方法及装置。将二氧化锗溶解到酸中,然后加入硼氢化钠;二氧化锗和硼氢化钠在酸性环境中进行反应;得到锗烷粗品气;将锗烷粗品气在压力0.3~0.8MPa、‑70~‑35℃操作条件下进行精制,得到纯度≥99.999%的电子级锗烷产品和粗乙锗烷;将得到的粗乙锗烷与氟气进行反应;得到四氟锗烷粗品气;将四氟锗烷粗品气在压力0.2~0.7MPa、‑20.4~16.7℃操作条件下进行精制,得到纯度≥99.999%的电子级四氟锗烷产品。本发明不使用有机溶剂,原料成本低,过程简单易于实现。锗烷精制采用低温双效精馏工艺,节约能耗≥30%。
搜索关键词: 一种 制备 电子 级锗烷 联产 级四氟锗烷 方法 装置
【主权项】:
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