[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组合物及其应用在审
| 申请号： | 202011481983.7 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN113126435A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 刘骐铭;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘静;姚亮 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组合物及其应用，该化学增幅型正型感光性树脂组合物包含一第一树脂(A1)、一第二树脂(A2)、一光酸产生剂(B)、一溶剂(C)、一式(6)或式(7)所示的化合物(D)及一式(e1)所示的受阻胺化合物(E)，且其所制得的保护膜具有感度及经时安定性佳的优点。本发明另关于该化学增幅型正型感光性树脂组合物所制得的保护膜及包含该保护膜的组件。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 增幅 型正型 感光性 树脂 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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