[发明专利]电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法

摘要

本发明提供电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法，涉及真空镀膜领域，包括蒸发罐和旋转架，本发明中蒸发罐内设置有旋转架，旋转架包括转盘，蒸发罐内对称设置有转盘，转盘之间以环形分布状等分连接有工件定位杆，工件定位杆转动连接至转盘处；两个转盘之间在靠近转盘处对称设置有从动齿轮，从动齿轮套接至工件定位杆处；从动齿轮之间等分设置有夹持件，即旋转架转动过程中，对待镀工件进行固定的工件定位杆同样呈旋转状，该设置可有效避免传统固定式旋转框架，在相对于蒸发组件进行旋转中，因待镀工件一侧表面始终朝向至坩埚处，所导致的该侧表面因温度高于他处，所引发的工件镀膜后镀膜质量差问题。