[发明专利]一种切边模具用CVD复合涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及CVD复合涂层技术领域，尤其涉及一种切边模具用CVD复合涂层及其制备方法，解决现有技术中存在的缺点，包括基体，所述基体上由里到外依次采用化学方法沉积有TiN层、加固层、MT‑TiCxN1‑x层、HT‑TiCN层以及Al2O3层，所述加固层包括TiC层和TiCN层，所述TiN层与基体的的线膨胀系数接近，可以提高符合涂层与模具表面结合力，所述MT‑TiCxN1‑x层呈柱状结晶。本发明中采用CVD方法制备出TiN/加固层/MT‑TiCN/HT‑TiCN/α‑Al2O3复合涂层，组合了各层涂层的优势，解决了单一功能层Al2O3因与与钢基体在晶体结构、热膨胀系数和弹性模量存在很大差异致使涂层与基体结合力差，易开裂、剥落的问题。