[发明专利]一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备

摘要

本申请公开了一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。方法包括：控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；控制器通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；控制器通过电子称检测得到当前MTS流量；控制器计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。