[发明专利]选择性发射极的制备方法、电池的制备方法以及电池

摘要

一种选择性发射极的制备方法、电池的制备方法以及电池，属于太阳能电池技术领域。选择性发射极的制备方法包括：在非栅线区的制绒后的硅片表面形成介质掩膜，在介质掩膜表面形成掺硼非晶硅层；在栅线区的制绒后的硅片表面形成掺杂层，掺杂层含有掺硼非晶硅和/或掺硼晶体硅；以掺硼非晶硅层和掺杂层作为掺杂源，采用高温扩散的方式将掺杂源中的硼扩散入硅片。其通过一次硼扩散的方式形成选择性发射极，减少了现有技术中的高温环节和工艺步骤，适用于大批量生产。