[发明专利]一种高硬耐磨损类富勒烯碳膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202011444287.9 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112795882A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 周晖;冯兴国;张凯锋;刘兴光;杨拉毛草;郑玉刚;张延帅;贵宾华;万志华;霍丽霞;胡继星 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/18;C23C16/26;C23C16/50;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 刘西云;李微微 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高硬耐磨损类富勒烯碳膜，从上至下依次为类富勒烯碳层、CrN/Cr软硬交替过渡层以及金属基体；其中，采用CrN/Cr软硬交替过渡层作为中间过渡层，可降低类富勒烯碳层薄膜与金属基体之间的应力，提高类富勒烯碳层薄膜的附着力和整体韧性，在其表面沉积类富勒烯碳膜可提升薄膜整体韧性；由此可见，本发明的类富勒烯碳膜具有硬度高、韧性好、耐磨损性能优异的特点，尤其适合应用于耐磨损零部件；本发明还提供一种高硬耐磨损类富勒烯碳膜的制备方法，采用磁控溅射与等离子体增强化学气相沉积(PECVD)复合技术，使得整个薄膜制备沉积过程温度显著降低，并低于150℃，从而避免了因高温而引起的金属材料退火。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐磨 损类富勒烯碳膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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