[发明专利]掩膜条、掩膜板及显示面板的制备方法有效
| 申请号： | 202011391331.4 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112522665B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 韩冰;刘明星;李文星;李伟丽;方旭阳 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种掩膜条、掩膜板及显示面板的制备方法。本申请第一方面提供一种掩膜条，包括图案蒸镀区及相邻两个图案蒸镀区之间的遮挡区，图案蒸镀区包括：蒸镀开口，在图案蒸镀区呈阵列分布；抗拉应力部，在掩膜条的张网方向上位于相邻两个蒸镀开口之间，抗拉应力部包括朝向蒸镀开口的第一变形边缘；掩膜条具有复位状态，在复位状态下，第一变形边缘朝向蒸镀开口内凹进。设置抗拉应力部增大掩膜条整体强度，避免掩膜条张网过程中发生破损，提升用该掩膜条制备显示面板阴极层的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜条 掩膜板 显示 面板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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