[发明专利]用于基于鳍状物的电子设备的固体源扩散结在审
| 申请号： | 202011383597.4 | 申请日： | 2014-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN112670349A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | W·M·哈菲兹;C-H·简 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01L29/808 | 分类号： | H01L29/808;H01L27/098;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/8605;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/329 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 林金朝 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了用于基于鳍状物的电子设备的固体源扩散的结。在一个示例中，在衬底上形成鳍状物。在衬底之上并且在鳍状物的下部部分之上沉积第一掺杂剂类型的玻璃。在衬底和鳍状物之上沉积第二掺杂剂类型的玻璃。对玻璃进行退火以将掺杂剂驱动到鳍状物和衬底中。去除玻璃并且在鳍状物之上形成不接触鳍状物的下部部分的第一接触部和第二接触部。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 鳍状物 电子设备 固体 扩散 | ||
【主权项】：
暂无信息
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