[发明专利]形状特性值推算装置、形状特性值推算方法和存储介质在审
| 申请号： | 202011381443.1 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN113032950A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 鹤田丰久;依田祐介;保坂理人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及形状特性值推算装置、形状特性值推算方法和存储介质。形状特性值推算装置包括：获取处理后图像的处理后图像获取部，该处理后图像包括形成有对象膜的基片的表面的图像信息；对处理后图像应用用于推算对象膜的形状特性值的推算模型推算形状特性值的推算部，该推算模型涉及处理后图像中的基片表面的颜色的信息与对象膜的形状特性值之间的相关性；生成基底影响模型的基底影响模型生成部，该基底影响模型涉及对象膜的形状特性值的推算结果和不使用推算模型获得的形状特性值之差分、与基底基片表面的颜色的信息之间相关性；以及基于基底影响模型校正推算结果的推算结果校正部。本发明能够更高精度地推算形成于对象基片的膜的形状的特性值。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 特性 推算 装置 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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