[发明专利]大口径光学元件辅助装调方法有效
| 申请号： | 202011373149.6 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112558318B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 安其昌;吴小霞;林旭东;王建立;陈涛;李洪文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大口径光学元件辅助装调方法，通过对比各种波前传感方式，选择曲率传感，一种非干涉非迭代的波前检测手段进行波前矫正和反馈；结合机械臂的多自由度，可迭代的空间运动功能。利用像差空间与机械臂关节空间的映射关系，结合灵敏度矩阵解算出机械臂的移动量，从而实现对大口径光学元件的大动态范围、高精度的测速度的装调。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 光学 元件 辅助 方法 | ||
【主权项】：
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