[发明专利]测试探针清洁方法有效
申请号: | 202011365614.1 | 申请日: | 2020-11-28 |
公开(公告)号: | CN112462104B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 贺涛;金永斌;丁宁;朱伟 | 申请(专利权)人: | 法特迪精密科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/073;B08B1/00;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 测试探针清洁方法,涉及半导体技术领域,本发明为了解决现有的如何有效代替人工清洁和如何将探头彻底清洁干净的问题。一种测试探针清洁装置,包括清洁构件、夹持构件、测试插座、测试基座和测试探针;所述清洁构件上方设置有夹持构件,所述清洁构件下方设置有测试插座,所述测试插座安装在测试基座上,所述夹持构件能够通过传动机械臂移动控制测试插座上方的清洁构件,能够使清洁构件移动至测试插座内,并与测试插座内的测试探针的探头贴合抵靠。本发明解决了现有的如何有效代替人工清洁和如何将探头彻底清洁干净的问题,进而达到了有效代替人工清洁,同时保证了清洁质量和测试效率。 | ||
搜索关键词: | 测试 探针 清洁 方法 | ||
【主权项】:
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