[发明专利]探针卡载侧出气孔有效
| 申请号： | 202011365585.9 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN112327020B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;王艾琳;王兴刚;周明 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明探针卡载侧出气孔属于半导体器件测试技术领域；该探针卡载侧出气孔按照空气流动方向，横截面积逐渐增大；在侧出气孔的外端部下方，转轴连接有挡板，所述挡板的另一侧边缘安装有拉绳，所述拉绳从侧出气孔的上方穿出，在侧出气孔的上方，还设置有拉绳固定端，所述拉绳固定端包括框架，设置在框架中并能够沿框架上下运动的固定板，位于固定板下方和框架底部上方的压簧，位于框架上方的开关，所述开关通过穿过框架的支架连接到固定板上，拉绳从固定板的上方穿过框架，挤在固定板与框架之间；本发明探针卡载侧出气孔应用于功率器件高温高压测试探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 卡载侧出 气孔 | ||
【主权项】：
暂无信息
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