[发明专利]一种二维材料转移方法有效

专利信息
申请号: 202011363291.2 申请日: 2020-11-27
公开(公告)号: CN112578669B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 韩传余;马博;王小力 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: G05B13/04 分类号: G05B13/04
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 王少文
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提出一种二维材料转移方法,以解决现有大面积二维材料转移过程中存在转移效率低、转移精度不高以及二维材料剥离不均匀的技术问题。本发明方法为:在载玻片下表面涂布粘性随温度反向变化的材料,粘取待转移二维材料;然后将待转移二维材料与二维材料受体准确定位;最后将载玻片放置在二维材料受体表面,加热载玻片将待转移二维材料转移到二维材料受体上。本发明系统包括底座、二维材料转移台、二维材料放置台以及光学成像单元,其中,二维材料转移台包括三维机械臂、涂有PDMS的载玻片、微位移台、二维材料受体放置台及包浆印刷工艺的加热片;光学成像单元包括支架、高倍显微镜高清CDD相机以及计算机。
搜索关键词: 一种 二维 材料 转移 方法
【主权项】:
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