[发明专利]一种机台程式控制方法及装置有效
| 申请号： | 202011310241.8 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112486113B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 阮厚航;游凯;张鹏真;李翠阁 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种机台程式控制方法及装置，可以获取待执行子程式，利用批间R2R控制系统调用待执行子程式，以根据待执行子程式进行待执行子程式对应的工艺，由于R2R控制系统可以直接调用待执行子程式，则对于新建的待执行子程式而言，无需结合已有的其他程式形成新的流程式，因此减少了流程式的数量，提高recipe的调用速度，从而提高半导体器件的处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 程式 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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