[发明专利]一种硅片插片装置

摘要

本发明提供一种硅片插片装置。硅片插片装置包括第一托盘、第二托盘和传动组件，所述第一托盘和所述第二托盘相对设置，所述第一托盘上并列设置有朝向所述第二托盘的多个第一卡槽，所述第二托盘上并列设置有朝向所述第一托盘的多个第二卡槽，所述第一托盘与所述传动组件的传动端相连，所述传动组件用于驱动所述第一托盘向靠近或远离所述第二托盘的方向移动。使用过程中，通过传动组件带动第一托盘向靠近第二托盘的方向相移动，并通过第一卡槽和第二卡槽相配合，将硅片移动至指定的位置，进一步完成插片操作，这样，本实施例的技术方案结构简单，有助于降低插片成本。