[发明专利]一种晶圆加工用切面抛光机在审
| 申请号： | 202011306334.3 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112497016A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 赵震 | 申请（专利权）人： | 临漳县澳皇网络科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B9/06;B24B47/14;B24B41/06;B24B41/04;B24B55/06;B24B55/12;B08B1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 056600 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆加工用切面抛光机，其结构包括工作台、抛光座、顶板、按钮，抛光座底部嵌固于工作台上表面，顶板安装在工作台正上方，按钮嵌固于顶板上表面，本发明的有益效果在于：将切割后的晶圆放置在抛光座上，转动转块带动螺杆转动，使抛光刀对晶圆切面进行抛光，启动抽气机将抛光过程中剔除下料的毛刺向上吸入至储存筒内部，且当抽气机停止工作时挡板关闭，避免毛刺掉出影响抛光机附近的环境，启动抽气机带动转杆转动，使转杆带动抛光块转动，使得毛刷与晶圆表面进行摩擦将晶圆切面的毛刺剔除并抛光磨平，同时倾斜的刮板将切断后的毛刺铲起，便于将毛刺吸入隔离腔内避免抛光块将毛刺甩出导致毛刺四处飞溅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆加 工用 切面 抛光机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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