[发明专利]硅基OLED面板的制备方法有效
申请号: | 202011303553.6 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN112420798B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 王登峰;邓琼;李光;郑武;王志超 | 申请(专利权)人: | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
主分类号: | H10K71/16 | 分类号: | H10K71/16;H10K59/00 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 朱顺利 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅基OLED面板的制备方法,包括步骤:S1、制作阳极金属层;S2、涂胶显影,形成R像素lift off结构;S3、蒸镀R材料和阴极金属层;S4、涂胶显影,形成G像素lift off结构;S5、蒸镀G材料和阴极金属层;S6、涂胶显影,形成B像素lift off结构;S7、蒸镀B材料和阴极金属层;S8、光刻胶剥离;S9、涂胶制作平坦层;S10、灰化形成PDL层;S11、蒸镀整面共阴极金属层。本发明的硅基OLED面板的制备方法,采用黄光工艺制备OLED蒸镀用自对准结构,能实现PPI 2000以上的RGB独立自主发光,大大提高整体显示亮度和分辨率。 | ||
搜索关键词: | 硅基 oled 面板 制备 方法 | ||
【主权项】:
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