[发明专利]一种体声波磁电阵列天线及制备方法在审
| 申请号： | 202011298218.1 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112582780A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 钟慧;彭春瑞;刘国;尉旭波;石玉 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/38;H01Q1/50;H01Q21/06 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波磁电阵列天线，包括安装于硅基上的N个阵元，阵元均为同一结构的体声波磁电天线；体声波磁电天线由空腔型体声波谐振器和磁致伸缩薄膜复合组成；空腔型体声波谐振器包括从下到上堆叠组合的硅基底、隔离层、空气腔、种子层、下电极层、压电层和上电极层；磁致伸缩薄膜制作成磁致伸缩层并置于上电极层上；阵元均为等幅同相馈电且馈电方式为交流电压馈电，阵列类型为直线阵或平面阵；本发明提供的体声波磁电阵列天线及制备方法，在同一个硅片上同时制备出的多个体声波磁电天线进行组阵，实现增强天线的方向性、提高天线的辐射增益和使之更适用于无线通信中的应用场合的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 磁电 阵列 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
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