[发明专利]一种基于氧化铝陶瓷的超高温燃气压力传感器封装工艺方法有效
申请号: | 202011297256.5 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN112729623B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 李晨;熊继军;洪应平;薛亚楠;孙博山 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L9/12 |
代理公司: | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司 11407 | 代理人: | 彭丽芳 |
地址: | 030051 山西省太原市尖*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于氧化铝陶瓷的超高温燃气压力传感器,包括耐高温陶瓷压敏元件、耐高温陶瓷样机封装管壳、耐高温陶瓷读取天线,耐高温陶瓷压敏元件由耐高温压敏电容与矩形螺旋电感线圈组成,耐高温陶瓷压敏元件安装在耐高温陶瓷样机封装管壳内的一侧,耐高温陶瓷压敏元件与耐高温陶瓷样机封装管壳之间安装有耐高温防热防震棉,耐高温陶瓷读取天线安装在耐高温陶瓷样机封装管壳内的另一侧;耐高温陶瓷样机封装管壳敏感端设有垂直于耐高温陶瓷压敏元件的气流孔;耐高温陶瓷读取天线通过与压敏LC回路中的电感耦合来实现压力参数的传输。本发明解决了压力参数测试过程中传感器样机存在的工作温度低、气密性差的问题,实现了在1000℃以上的超高温环境中压力参数的原位测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 氧化铝陶瓷 超高温 燃气 压力传感器 封装 工艺 方法 | ||
【主权项】:
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