[发明专利]金刚石衬底随温度变化的测量方法

摘要

本发明公开了金刚石衬底随温度变化的测量方法，包括：测量室温下的金刚石衬底的椭偏光谱曲线(ψ0，Δ0)；S1，控制加热系统温度以加热金刚石衬底，预设i个加热系统温度，测量每一Ti下的金刚石衬底的椭偏光谱曲线(ψi，Δi)；S2，建立色散光学模型对光谱曲线进行分析，记录为(n0，k0)及(ni，ki)，当满足石墨化条件后，记录光学常数(ni，ki，di)；S3，绘制所有温度下的光学常数，分析变化趋势；S4，在满足石墨化条件后，结合色散光学模型，分析金刚石杂化类型的变化以及比例分布情况。它具有如下优点：测量精度高，温度变化范围宽，对折射率和温度变化灵敏，且不仅能获得光学特性的变化而且能获取金刚石衬底杂化类型。