[发明专利]一种用于离子源的控温模块、控温系统及离子源装置有效
| 申请号： | 202011291927.7 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112509905B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 袁震;李志燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/16 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 刘小娟 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于离子源的控温模块、控温系统及离子源装置。所述控温模块包括：一级冷却通道，用于对控温模块本体通过低温冷却气体降温；二级冷却通道，其穿过所述控温模块内部，用于流经二级冷却气体；控温模块本体，用于对离子源输送所述二级冷却气体。本发明采用的两级控温方案，使得二级冷区气体的入口处可为常温气体，与控温模块热交换时，即使在较高压力下，仍能保持很高的气流稳定性，从而可实现较高精度的控温稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子源 模块 系统 装置 | ||
【主权项】：
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