[发明专利]一种硅基电光调制与模分复用集成器件

摘要

本发明公开了一种硅基电光调制与模分复用集成器件，包括模分复用模块，所述的模分复用模块包括非对称设置的单模纳米线波导和多模纳米线波导和模分复用模块；对应的还包括两组电光调制模块，所述的单模纳米线波导和所述的多模纳米线波导一端与所述的电光调制模块连接，另一端汇聚于耦合区；所述的电光调制模块由纳米线波导、WM型谐振腔、平行设置的第一光子晶体波导和第二光子晶体波导组成，其中所述第一光子晶体波导的一端与所述的纳米线波导相连，另一端与所述单模纳米线波导或所述多模纳米线波导相连，所述的WM型谐振腔对应于所述第二光子晶体波导的中间位置设置。本发明提高系统集成度、对提升光通信网络容量具有重要价值。