[发明专利]动态混合气体全组分流量标定系统和标定方法

摘要

一种动态混合气体全组分流量标定系统和标定方法，其中标定系统包括：注气单元，包括一载气管路和若干标定气管路；每个管路上分别设置流量控制器，用于实现注气的动态调节；混流单元，与所述注气单元的各个管路相连，用于混合所述注气单元输送的多路气体；质谱后校准单元，通过混合管路与所述混流单元相连，用于对混流单元输出的混合气体进行采样与检测；处理单元，与所述质谱后校准单元电连接；用于利用等效特征图谱法对质谱后校准单元得到的数据进行处理，实时获得动态调节的混合气体中不同组分的流量与浓度结果。本发明能够给出标定混合气体中全部组分的流量与浓度，所述流量包括质量流量、体积流量与摩尔流量。