[发明专利]光声探测器单元、光声传感器和所属的制造方法在审
| 申请号： | 202011251981.9 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112986149A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | R·M·沙勒;M·埃贝尔;S·加斯纳;F·约斯特;S·科尔布 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在此公开光声探测器单元、光声传感器和所属的制造方法。光声探测器单元包括具有开口的壳体和光声换能器，该光声换能器被设计用于将光辐射转换为以下至少一项：压力信号或热信号。光声换能器覆盖壳体的开口，使得光声换能器和壳体形成声学密封腔。压力传感器布置在声学密封腔中。 | ||
| 搜索关键词： | 探测器 单元 传感器 所属 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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