[发明专利]一种辐射粒子探测器器件结构

摘要

一种辐射粒子探测器器件结构，涉及微电子技术和半导体技术。本发明的辐射粒子探测器器件结构在p型硅衬底表面设置有掺杂区，导电沟道和STI区，其中绝缘的STI区将导电沟道隔离开。本发明解决的技术问题是：提供一种辐射粒子探测器器件结构，在未受到辐照时，器件不导通，没有电流流过。在受到一定剂量的辐照后，STI区内产生大量正电荷，在STI与硅衬底交界面附近感应出一圈反型层，作为导电沟道，器件导通。本发明中的器件工作在p阱中，与其他器件隔离，且兼容CMOS工艺，可集成度高，可用于在太空空间中探测辐照。