[发明专利]手推式智能分子泵机组

摘要

本发明提供了一种手推式智能分子泵机组，包括分子泵、机械泵、机架、电磁挡板阀、电磁压差阀以及控制模块，其中：分子泵、信号调理板设置在机架台面上，机械泵设置在机架内部；分子泵作为主抽泵，机械泵作为前级泵，分子泵、机械泵之间通过波纹管连接；在分子泵和机械泵之间设置电磁压差阀；在分子泵入口设置有电磁挡板阀；控制模块与机械泵、分子泵、电磁挡板阀、电磁压差阀进行通信，实现集中逻辑控制。本发明的手推式智能机组性能优越、可靠性高、自动化程度高，优点较多，如一键启动，使用便捷；风冷设计，模块化，易于维护；自动保护，远程监控，数据存储；主泵排气口配备规管，安全性高等。