[发明专利]一种防水性能好的单晶硅压力变送器

摘要

本发明公开了一种防水性能好的单晶硅压力变送器，具体涉及压力变送器技术领域，包括与管路系统连接的连接座，所述连接座两端通过法兰与管路系统连接，所述连接座上安装有连接管路且连接管路端部延伸至连接座的内部，其特征在于：所述连接管路内部设置有进行压力感应的感应管件，所述连接管路远离连接座的端部安装有压力感应室，所述压力感应室的内部设置有与感应管件连通的膜片组件。本发明通过利用升降的活塞改变感应管内的气压，使多个下弹性膜片产生形变，对空腔内的密封液产生压力，带动上弹性膜片产生形变利用上弹性膜片形变的力作用在单晶硅片上，获取压力数据，提升了压力变送器的防水性能，延长了使用寿命。