[发明专利]一种大口径偏振移相菲索干涉仪偏振像差的相位补偿方法有效
| 申请号： | 202011199748.0 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112378346B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;王志浩;黄振林;陈宏晨;王凯晴 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02061 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大口径偏振移相菲索干涉仪偏振像差的相位补偿方法，该方法使用的模块包括：相干光源模块、菲索干涉模块、偏振移相模块。具体步骤为：相干光源模块产生一对正交线偏振光，进入菲索干涉模块；两束光经过1/4波片，形成一对正交圆偏振光，在参考镜与测试镜的表面反射后，通过偏振像差建模的波片模型，其组合光为椭圆偏振光，进入偏振移相模块；组合光经过成像透镜与微偏振阵列在CCD相机的靶面成像，得到一组关于干涉光强的偏振移相干涉图，根据偏振像差产生的相位延迟与干涉光强之间的关系式，借助偏振移相干涉图求解该相位延迟，实现对大口径偏振移相菲索干涉仪偏振像差的相位补偿。该方法实施简单，可行性强、补偿精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 偏振 移相菲索 干涉仪 相位 补偿 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011199748.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
