[发明专利]一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法有效
| 申请号： | 202011192434.8 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112344021B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;武启飞;高永喜;陈奇 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/06 | 分类号： | F16J15/06;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法。其中，所述腔体密封连接结构，包括第一对接法兰、第二对接法兰、密封圈和压条，第一对接法兰和第二对接法兰分别设置在两个腔室腔室相对的一端，一个腔室的第一对接法兰能够与另一个腔室的第二对接法兰固定连接；第一对接法兰内圈凹陷形成有台阶，台阶的侧壁与第二对接法兰形成密封槽；密封圈设置在密封槽中，且位于第一对接法兰和第二对接法兰的对接处；压条设置在密封槽中，用于压紧密封圈。该腔体密封连接结构，便于腔室的密封连接，且在更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，作业效率高，节约时间及成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 连接 结构 镀膜 生产线 组装 方法 | ||
【主权项】：
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