[发明专利]一种MEMS多层薄膜材料热膨胀系数的提取方法有效
| 申请号： | 202011189814.6 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112326720B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 刘海韵;王慧斌;张振 | 申请（专利权）人： | 河海大学 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210024 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS多层薄膜材料热膨胀系数的提取方法，基于两组不同长度的多层双端固支梁阵列，每组多层双端固支梁阵列由多根不同宽度组合的多层双端固支梁组成。本发明利用环境温度对多层双端固支梁阵列进行加热，通过分别测量加热前和加热后多层双端固支梁的机械谐振频率，得到各层膜的等效杨氏模量值，以及加热前和加热后各层膜上所产生的残余应力，进而计算得到各层薄膜的热膨胀系数。本发明提供的热膨胀系数提取方法，操作方便，测量精度高，通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 多层 薄膜 材料 热膨胀 系数 提取 方法 | ||
【主权项】：
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