[发明专利]声波换能结构及其制备方法和声波换能器有效
| 申请号： | 202011186613.0 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112452695B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 孙拓 | 申请（专利权）人： | 北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 吴俣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种声波换能结构，包括：衬底基板和位于所述衬底基板上的至少两个声波换能单元，相邻声波换能单元中的振动腔在与所述衬底基板所处平面相平行的方向上间隔设置，所述至少两个声波换能单元包括：中心声波换能单元和围绕所述中心声波换能单元设置的至少一个环形声波换能单元。本公开还提供了一种声波换能结构的制备方法和声波换能器。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 结构 及其 制备 方法 换能器 | ||
【主权项】：
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