[发明专利]分数傅里叶全息飞秒激光三维并行加工、监测系统及方法在审
| 申请号： | 202011185021.7 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112388159A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 孙树峰;王津;王萍萍;张丰云;王茜;邵晶 | 申请（专利权）人： | 青岛理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/046;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 祖之强 |
| 地址： | 266520 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种分数傅里叶全息飞秒激光三维并行加工、监测系统及方法，所述系统包括空间光调制器、傅里叶透镜、第一透镜、第一分光镜和第一聚焦物镜；所述空间光调制器被配置为接收飞秒激光光束和分数傅里叶全息图，发出经过调制后的多路光束到多个聚焦平面；穿过聚焦平面的光束依次通过第一透镜、第一分光镜和第一聚焦物镜后，光斑阵列聚焦在具体加工位置的多个不同深度；本公开克服了多维尺度加工和低效率的问题，解决了复杂形状微结构加工的困难，有效提高了三维分布微结构的加工质量和加工效率，将加工效率提高到了一个数量级以上，显著缩短了加工时间，大大提高了三维分布的结构间位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分数 傅里叶 全息 激光 三维 并行 加工 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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