[发明专利]一种测量薄膜不同方向应力梯度的方法有效
| 申请号： | 202011183022.8 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112556906B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 沈宇;童贝;石正雨;段炼 | 申请（专利权）人： | 瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 213167 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供了一种测量薄膜不同方向应力梯度的方法，包括步骤：通过仿真获取第一方向上薄膜基于S11应力梯度的斜率等效系数K |
||
| 搜索关键词： | 一种 测量 薄膜 不同 方向 应力 梯度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司，未经瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011183022.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
