[发明专利]一种用于镀防指纹膜的卷对卷真空镀膜设备在审
| 申请号： | 202011171391.5 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112239856A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于镀防指纹膜的卷对卷真空镀膜设备，包括真空室，真空室内设有镀膜辊以及沿着镀膜辊的圆周方向依次设置的收放卷室、磁控溅射镀膜室、第一隔气室、气态蒸发镀膜室、第二隔气室；用于卷绕基材的收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的基材依次经过第一导辊、镀膜辊、第二导辊、收卷辊，磁控溅射镀膜室内设有磁控溅射镀膜系统，真空镀膜设备还包括用于镀防指纹膜的气态蒸发镀膜系统。本发明既能够实现连续镀防指纹膜，同时也能镀其他膜层，能够在同一真空镀膜设备上镀防指纹膜和其他膜层，极大地提高了生产效率，也减少了设备投入，节能降耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 指纹 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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