[发明专利]一种制备大尺寸、高纯度、高致密度三氧化钼靶材的方法有效
| 申请号： | 202011163496.6 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112359333B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 崔玉青;周莎;席莎;杨秦莉;张晓;朱琦;李晶 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 涂秀清 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备大尺寸、高纯度、高致密度三氧化钼靶材的方法，具体为：步骤1，将钼酸铵进行焙解处理，得到高纯三氧化钼粉末；步骤2，将高纯三氧化钼粉末进行球磨处理；步骤3，将经球磨处理后的三氧化钼粉末加入一定量的成型剂，混合均匀；步骤4，将混匀后的三氧化钼粉末压制成坯料；步骤5，将三氧化钼坯料烘干后，装入包套中抽真空焊封，然后进行热等静压处理，除去包套后得到三氧化钼靶材粗品；步骤6，将得到的三氧化钼靶材粗品进行机械加工和清洗，最终得到高纯高致密度三氧化钼靶材。本发明一种制备大尺寸、高纯度、高致密度三氧化钼靶材的方法，能制备大尺寸、高纯度、高致密度三氧化钼靶材且制备率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 尺寸 纯度 致密 氧化钼 方法 | ||
【主权项】：
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