[发明专利]一种质量流量控制器在审
| 申请号： | 202011157591.5 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112327948A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王瑞;牟昌华;杜井庆 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种质量流量控制器，包括流体通道、控制装置、控制阀、第一流量检测装置、第二流量检测装置，控制阀设置在流体通道上，第一流量检测装置用于检测流体通道输出端和控制阀之间的流体参数生成第一流量检测信息，第二流量检测装置用于检测流体通道输入端和控制阀之间的流体参数生成第二流量检测信息；控制装置用于根据第一流量检测信息得到第一流量检测值，根据第一流量检测值与目标流量值的差值和二流量检测信息控制控制阀开度；根据第二流量检测信息和控制阀开度得到第二流量检测值，并在第一流量检测值与第二流量检测值之间的差值超过预设差值阈值时判定质量流量控制器异常。该控制装置能够实时诊断流量检测装置精度，提高设备安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】：
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