[发明专利]一种等离子纳米镀膜设备及应用有效
| 申请号： | 202011154515.9 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112281121B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 董海青;申鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳市创智捷科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人： | 吴雅丽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区航城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子纳米镀膜设备，包括机架、工作台和镀膜单元，机架上安装有工作台，工作台上安装有用于装夹工件的夹具组件，所述机架上位于工作台上方安装有镀膜单元，所述镀膜单元包括移动进给机构、往复驱动机构和摆动机构，所述移动进给机构包括丝杆、第二电机和第一安装座，所述往复驱动机构包括第四电机、转盘和第一连杆，所述摆动机构包括第六电机、圆盘和安装杆，所述第六电机固定安装于第二安装座底部，本申请还公开了所述等离子纳米镀膜设备的应用，设有镀膜单元，调整镀膜范围，能够进行周向旋转镀膜，能够达到调整周向旋转半径的效果，能够进行往复镀膜，扩大镀膜范围，提高工作效率，多角度镀膜，进一步提适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 纳米 镀膜 设备 应用 | ||
【主权项】：
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