[发明专利]无氟光致产酸剂及其制备方法在审
| 申请号： | 202011148890.2 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112114495A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 张猛;王巧玲 | 申请（专利权）人： | 华衍化学（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;C07C255/17;C07C381/12;C07C253/30 |
| 代理公司： | 上海九泽律师事务所 31337 | 代理人： | 蔡佳杰 |
| 地址： | 200237 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种无氟光致产酸剂及其制备方法，该无氟光致产酸剂为如下结构通式： |
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| 搜索关键词： | 无氟光致产酸剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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