[发明专利]MEMS麦克风有效
申请号: | 202011148838.7 | 申请日: | 2020-10-23 |
公开(公告)号: | CN112118522B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 雅尼克·凯夫兰 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R1/08 |
代理公司: | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人: | 万鹏 |
地址: | 518057 广东省深圳市高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种MEMS麦克风,其包括线路板、与线路板盖接形成收容腔的外壳以及设于收容腔内的ASIC芯片和MEMS芯片,线路板、ASIC芯片及MEMS芯片之间电连接,MEMS芯片包括具有背腔的基底、固设于基底一侧上的背板以及固设于背板远离基底一侧上的振膜,振膜包括正对背腔的振动部及环绕振动部设置并固定于背板的固定部,振动部上贯穿设有通气孔,线路板和外壳中的其中至少一方具有开设有声音输入孔的基板,基板位于振膜背离基底的一侧,固定部和基板之间夹设有支架,支架与ASIC芯片间隔设置,且支架具有连通声音输入孔和通气孔的前腔,前腔通过通气孔与背腔连通。与相关技术相比,本发明的MEMS麦克风具有更高的信噪比。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
【主权项】:
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